关键词：静压导轨 激光传感器 有限元分析 模态性能 

摘要：在超精密加工设备中,超精密液体静压导轨是其关键部件.影响导轨性能的因素有很多,随着加工精度的不断提高,导轨的动态特性成为了不可忽视的因素之一,导轨模态性能测试的准确性更成为其关键.本文采用某型激光传感器对液体静压导轨进行频谱响应测量,测量精度高,测量准确.

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