关键词：沉积 粒子模拟 pegasus 粗糙度 

摘要：采用粒子模拟研究方法,利用PEGASUS 程序对等离子体环境下面向等离子体部件的沉积特性进行了模拟研究。结果显示部件表面连接缝隙尺寸、表面粗糙度、粒子入射的角度以及流量对沉积影响显著。在能量较小、溅射可忽略时,能量对沉积的影响很小。粗糙度越小,沉积量越小;同一种粗糙度,不同轮廓也会使沉积发生较大变化,轮廓一致的更有利于减小沉积。该模拟对研究等离子体与材料相互作用,分析瓦片缝隙尺寸、瓦片加工工艺和等离子体参数对面向等离子体部件沉积行为的影响具有重要意义。

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