热氧化法制备NiO薄膜及其在光伏器件中的应用

关键词：氧化镍薄膜 磁控溅射 热氧化 光伏器件 

摘要：在氩气气氛下通过磁控溅射法在ITO基底上制备出单质镍薄膜,然后在空气中于400℃用一种简便的水热法退火处理2 h,利用热氧化法得到氧化镍薄膜。样品用X-射线衍射仪(XRD)、X-射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)和紫外可见分光光度计进行了表征。利用太阳能模拟器对ITO/NiO/poly-TPD/PC71BM/Al光伏器件的性能进行了测试。结果表明:器件的短路电流为5.6 mA/cm2,外量子效率(EQE)为1.5%,比PEDOT:PSS作为空穴传输层的器件的EQE高20%。热氧化法制备的氧化镍薄膜为构筑其他氧化镍基光伏器件提供了一个良好的途径。

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