关键词：分压力 校准 质谱计 

摘要：在含有混合气体的高真空环境中,全压力真空规的计量结果通常会随着被测气体成分的改变而产生较大的差异,因此,需要进行气体成分的检测及分压力的计量。质谱计作为气体成分检测及分压力计量的主要工具,为保证其定量检测的准确性,必须进行校准。从原理上对质谱计校准方法进行了总结,介绍了当前国内外计量机构使用的部分校准装置以及当前分压力计量的光学及量子相关方法的发展现状,提出了质谱计校准存在的问题和未来的发展方向。

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