关键词：石墨烯 退火温度 退火时间 

摘要：针对空间钻探中硬质合金钻具部件的减摩润滑问题,提出一种在硬质合金基底上原位生长石墨烯的方法。在硬质合金基底上磁控溅射沉积非晶碳化硅(SiC)薄膜,利用合金中的粘结相Co在真空退火条件下催化非晶SiC,实现原位生长石墨烯。研究了在硬质合金基底表面磁控溅射沉积非晶SiC薄膜,在真空退火条件下,退火温度、退火时间和C/Si原子比对金属Co催化非晶SiC在硬质合金上原位生长石墨烯的影响,分析了金属Co在催化非晶SiC制备石墨烯过程中的反应机理,为石墨烯在真空钻探刀具润滑材料的应用提供了一定的理论基础。

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