关键词：氦气 真空漏率 真空压力检漏 氦质谱检漏仪 

摘要：ITER将第一次在世界上实现能与未来实用聚变规模相比拟的受控热核聚变实验堆,解决通向聚变工程的很多物理和工程问题。其中超导体磁体作为国际热核聚变实验堆ITER(International Thermonuclear Experimental Reactor)装置的核心部件之一其制造过程中非常关键问题就是焊缝的密封性能。对于焊缝的密封性能常用检漏方法是氦质谱真空压力检漏。本文主要介绍了氦质谱压力真空检漏方法在线圈泄漏检测中的优化分析及检测步骤。通过给氦质谱压力检漏法集气室中的连接工装增加辅助机械泵,避免真空条件下连接法兰泄漏造成的检漏系统本底信号过高影响,提高了氦质谱压力真空检漏方法在线圈检测中的灵敏度和检测数据的准确性,减少了误判的几率,拓展了氦质谱压力真空检漏方法的适用范围。

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