冶金法提纯多晶硅退火工艺优化的数学模型分析与试验验证

关键词：多晶硅 冶金法 退火 建模 试验 

摘要：冶金法制备多晶硅过程中,通过对不同退火温控方案进行数学建模,探求优化的退火理论温度控制函数与曲线。数学模型表明,对硅铸锭直接进行保温,依靠自然热平衡退火,会使内部应力大于产生位错的临界应力;采用加热元件对硅铸锭适当加热保温可减缓降温速率。通过比较,选择较低的退火温度1 236℃和较短的退火时间8.52 ks作为试验退火温控方案。试验验证表明,该退火方案得到的多晶硅铸锭目视裂纹较少,少数载流子寿命与电阻率具有明显优势。

宇航材料工艺杂志要求:

{1}注释序号以“①、②”等数字形式标示在被注释词条的右上角。页末或篇末注释条目的序号应按照“①、②”等数字形式与被注释词条保持一致。

{2}来稿应遵守法律法规及学术规范，确保文章原创性、科学性；内容无涉违法违纪现象；作者署名须无争议。

{3}内容摘要应能客观地反映论文主要内容的信息，一般不超过200字。关键词一般每篇3～5个为宜。

{4}作者简介：姓名、出生年、性别、民族、籍贯、工作单位全称、职称、学位、研究方向等，置于篇首地脚。

{5}基金项目或资助项目请注明具体名称及编号。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社