关键词：压电性能 晶体结构 第一性原理 掺杂改性 

摘要：采用第一性原理密度泛函理论法研究了纤锌矿结构AlN中掺杂不同含量Er后的晶体结构和压电性能。计算结果表明,随着掺杂Er原子数比x由0增加到25%,ErxAl1-xN晶体的晶胞参数、晶胞体积和键长显著增大,压电性能得到提升。当x=25%时,ErxAl1-xN体系的压电常数d33为8.67pC/N,比纯AlN提高了79.5%,为未来AlN压电薄膜材料研究领域提供了更多可选材料。

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