关键词：电致化学抛光 液浮平面电极 comsol 法向刚度 倾覆力矩 

摘要：电致化学抛光是一种超光滑超平整表面的无应力加工方法,加工工具是大面积液浮平面电极,其稳定性是影响加工质量的最关键因素。研究电极稳定性对于提高加工质量具有重要意义。基于静压支撑原理,设计了电极结构,采用COMSOL仿真研究了液压腔数目,倾斜方向对电极法向刚度和倾覆力矩的影响。结果显示法向刚度大小与液压腔数目成正相关,增加液压腔数目可以有效提高电极抗倾覆能力和弱化其异向性,表明了增加液压腔数目可以有效提高电极稳定性能。

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