关键词：sem 自动聚焦 图像分析 

摘要：为了快速准确地获取清晰的SEM显微图像，提出了一种基于图像分析的SEM显微视觉自动聚焦技术。该技术采用了两级清晰度评价函数的自动聚焦策略，首先利用基于灰度差分的评价函数对图像进行分析评价，然后以大步距遍历搜索函数峰值，直至第一次经过峰值；接着，再利用基于DCT（discrete cosine transformation）变换的评价函数来分析评价图像之后，以小步距进行局部搜索，直至搜索到清晰的SEM显微图像，完成SEM的自动聚焦。实验证明，该技术准确有效，具有较强的鲁棒性和实时性。

微细加工技术杂志要求:

{1}请在来稿中注明作者姓名、出生年月、单位、职称及联系方式。

{2}来稿文责自负，作者应对文章的署名和内容无异议，请保证稿件的原创性，不侵犯他人的著作权，请勿抄袭或者重复刊发文章。

{3}论文标题应准确、简明、具体，能概括文章的核心内容，一般不超过20个字。

{4}引征二手文献、资料，需注明该原始文献资料的作者、标题，并在其后标注“转引自”及该援引的文献、资料等。

{5}摘要篇幅以50~300字不宜，写成报道性摘要，内容包括研究工作的目的、方法、结果和结论。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社