关键词：射频 高压 耦合 等离子体离子注入 不锈钢 

摘要：介绍了一种新的等离子体离子注入在不锈钢表面改性上的应用。将高压脉冲和射频脉冲直接耦合到工件上，不需外部等离子体源，利用工件自身加射频产生等离子体，随后施加高压对不锈钢表面进行了注氮处理。XPS分析显示，在基体表面有氮元素存在，说明实现了射频与高压直接耦合的离子注入效果。进一步研究表明，等离子体离子注入后，在不锈钢基体表层形成了Cr2O3以及CrN，FeN等硬质相，因此处理后的试件耐摩擦、磨损和耐腐蚀性能得到了较大提高。同时研究显示，射频脉冲宽度或射频与高压相位的改变对摩擦系数影响不大。

微细加工技术杂志要求:

{1}请在来稿中注明作者姓名、出生年月、单位、职称及联系方式。

{2}来稿文责自负，作者应对文章的署名和内容无异议，请保证稿件的原创性，不侵犯他人的著作权，请勿抄袭或者重复刊发文章。

{3}论文标题应准确、简明、具体，能概括文章的核心内容，一般不超过20个字。

{4}引征二手文献、资料，需注明该原始文献资料的作者、标题，并在其后标注“转引自”及该援引的文献、资料等。

{5}摘要篇幅以50~300字不宜，写成报道性摘要，内容包括研究工作的目的、方法、结果和结论。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社