关键词：一次曝光 液晶面板 曝光设备 解析度 佳能 

摘要：佳能将于2018年10月下旬起正式发售FPD(FlatPanel Displayl曝光设备新品,型号为“MPAsp-H1003T”。该产品针对第8代玻璃基板尺寸■1研发,实现了运用2.0μm(L/S■2)的解析度对65英寸液晶面板进行一次曝光的技术。

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