关键词：修饰层 晶体结构 

摘要：为改善ZnO薄膜的光学性质,采用溶胶-凝胶法分别制备了3层和6层ZnO基底上覆不同层数TiO2修饰层的透明薄膜,分析TiO2修饰层对薄膜晶体结构的影响。用不同工艺流程制备了覆TiO2修饰层的ZnO基透明薄膜,研究非晶化出现的过程。结果表明:所有混合镀膜样品,其结晶性均受到阻碍,所得样品呈现出明显的非晶状态;非晶化的出现会对薄膜的光学性质产生显著影响。非晶化过程发生在样品制备过程中的预处理和退火阶段,其中退火过程中的非晶化更为主要。

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