集成电路工艺用过氧化氢中杂质元素的检测方法

关键词：电子级 过氧化氢 高分辨质谱 

摘要：

上海计量测试杂志要求:

{1}来稿请通栏排版，正文中如有图、表，请放置于正文中相应的位置，彩色图须转成黑白图。

{2}来稿要求切勿一稿多投，作者应当确认作品著作权的完整性、合法性，作品及内容不得侵犯他人合法权益。

{3}参考文献应以作者亲自阅读的近5年内文献为主，按引用的先后顺序列出。

{4}中文摘要300～500字，是以第三人称对文中观点进行概括，能简明反映论文的主要内容信息。关键词3～6个为宜。

{5}作者简介：姓名，出生年，性别，籍贯，单位（大小单位都要写清，如：安徽大学外语学院）及所在省市、邮编，职称或学位。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社