关键词：金刚石 探测器 氮杂质 位错密度 

摘要：采用高质量高温高压单晶金刚石衬底,通过等离子体环境净化的方法获得高纯、低缺陷密度金刚石材料,有望应用于医疗、核、宇宙射线等辐射探测器。采用微波化学气相沉积方法成功外延生长出了8 mm×8 mm的高质量单晶金刚石材料。晶体内无明显的应力集中区,X射线摇摆曲线(004)峰半高宽0. 008°,PL光谱中未见与氮相关杂质,基于电子顺磁共振测试孤氮杂质含量为23ppb。

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