关键词：二氧化钒 薄膜 掺杂 热处理 

摘要：采用溶胶凝胶法制备了钨掺杂和不掺杂的二氧化钒薄膜,研究了不同退火温度、退火时间对薄膜微观结构的影响,以及不同掺杂量的钨离子对薄膜可见光透过率的影响。XRD结果表明:薄膜样品为VO2(M)相结构;SEM结果分析表明:薄膜晶粒尺寸大小和间距随退火温度的升高、退火时间的增加而变大;UV-vis测试结果表明:与未掺杂氧化钒薄膜相比,W离子掺杂有利于提高VO2薄膜可见光的透过率,在400nm处透过率从47%增加到67%,在VO2薄膜表面涂覆SiO2膜,该涂层可以提高可见光的透过率(在600nm附近提高3%)。

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