关键词：mems 微驱动器 u型梁 温度分布方程 

摘要：针对MEMS驱动器提出了一种基于焦耳热效应的多晶硅材料电热驱动方式。根据电热微驱动器的结构特性,建立了用于计算其温度的简化模型;利用傅里叶定律和能量守恒方程导出的导热方程建立并求解得到热臂、冷臂和柔性区上的温度分布方程。最后用ANSYS Multiphysics软件对驱动器进行热-电场耦合分析,结果表明驱动器上温度理论值与仿真结果保持一致,该温度分布方程可用于优化电热微驱动器设计并计算其热膨胀量、驱动位移及力矩。

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