关键词：离子束溅射 al2o3薄膜 光学窗口 环境适应性 

摘要：为了研究Al2O3薄膜在蓝宝石光学窗口中的应用,采用离子束溅射技术制备了不同工艺条件下的Al2O3薄膜,根据薄膜的测试结果对薄膜的折射率和消光系数进行了拟合,分析了工艺条件对Al2O3薄膜性能的影响。在蓝宝石窗口上用ZnS和Al2O3作为高、低折射率材料,设计并制备了电视(600~900 nm)和中红外(3.4~4.8μm)双波段高效减反射薄膜,测试结果表明,薄膜的减反射效果良好,具有较强的环境适应性,适合于作为光学窗口薄膜。而Al2O3薄膜吸潮引起的2.8~3.5μm波段的吸收,以及蓝宝石基片在4.0μm之后的吸收是造成透射率较低的主要原因。

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