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引入表面微结构的3.7~4.8μm红外折衍混合物镜设计

刘敏; 刘定权; 周晟; 罗海瀚; 张秋玉 中国科学院上海技术物理研究所; 上海200083; 中国科学院大学; 北京100049

关键词:折衍混合 物镜 衍射微结构 光学设计 薄膜 

摘要:折衍混合透镜具有重量轻和结构紧凑的特点,在空间光学仪器等方面有一定的优势。结合物镜设计要求的工作波段3.7~4.8μm、焦距64 mm和F数1.6等参数,采用了含有平面衍射微结构的3片式分离镜片,物镜总长度和重量得以明显减少,减少约40%。镜片选用了常用的红外光学材料硅和锗,设计对公差的要求较为宽松,得到的弥散斑半径小于9.5μm,各个视场的MTF值在17毫米线对处均达到0.8。硅平面镜表面的衍射微结构可以用4次套镀薄膜的方法来实现16个台阶,分析了衍射微结构可接受的加工误差范围。选用SiO和ZnS膜层来减少镜片表面反射损失,波段内物镜的光学效率达到93%。

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