TiO2薄膜基底上制作多碱光电阴极的探索研究

关键词：多碱阴极 tio2减反膜 原子层沉积 na元素渗透 钝化膜 

摘要：在TiO2薄膜基底上制作多碱光电阴极,发现多碱光电阴极制作工艺无法正常进行,多碱光电阴极的颜色为暗黑色,并且阴极灵敏度非常低,而正常的多碱光电阴极应为红褐色。其中TiO2薄膜基底利用原子层沉积(ALD)工艺制备在玻璃窗上,并且具有锐钛矿晶体结构。X射线衍射仪(XRD)分析发现,制作多碱阴极后的TiO2薄膜样品锐钛矿衍射峰基本消失,另外X射线光电子能谱(XPS)分析发现该TiO2薄膜样品不同深度均存在Na元素,由此表明是Na元素渗透到TiO2薄膜中,破坏了薄膜的晶体结构,并且导致多碱光电阴极灵敏度非常低。为此提出了一种在制作多碱光电阴极之前,在TiO2薄膜上利用ALD工艺制作一层Al2O3钝化膜的方法。经过实验验证,证实该方法可以有效避免Na元素渗透到TiO2薄膜,同时多碱光电阴极制作过程可正常进行,多碱光电阴极的颜色为红褐色,阴极灵敏度超过800μA/lm。这为将来深入研究采用TiO2薄膜作为多碱光电阴极的减反膜打下了基础。

红外技术杂志要求:

{1}文稿中摘引他人成果，请按《著作权法》有关规定指明原作者姓名、作品名称及其来源，并以注释的形式在文后列出。

{2}任何投稿都会在收到投稿之日起三个月内回复录用情况，请勿在审稿期间内将稿件投向他处，如投向他处，请务必来信告知。

{3}稿件必须为原创，内容信息准确无误，禁止一稿多投。

{4}各级标题不得使用引文标示。正文中如需对引文进行阐述时，引文序号应以逗号分隔并列排列于方括号中，如“文献[1，2，6，9]从不同角度阐述了……”

{5}摘要应突出论文关键内容，不应为标题的摞列。尤其英文摘要更应逐句认真推敲，力求准确无误。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社