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长波碲镉汞薄膜外延用碲锌镉衬底筛选方法研究

折伟林; 周立庆; 刘铭; 李乾; 申晨; 晋舜国; 李达; 师景霞 华北光电技术研究所; 北京100015

关键词:碲镉汞 碲锌镉 缺陷 半峰宽 位错密度 

摘要:主要报道了用于提高液相外延(Liquid Phase Epitaxy, LPE)长波碲镉汞薄膜质量的碲锌镉衬底筛选方法研究。通过对碲锌镉衬底的锌组分、红外透过率、沉淀/夹杂、位错密度、X射线形貌像和X射线衍射半峰宽等参数进行全面测试以及对外延后碲镉汞薄膜的X射线形貌像和X射线衍射半峰宽进行测试评估,发现目前X射线形貌像和锌组分是影响LPE长波碲镉汞薄膜用碲锌镉衬底的重要参数。结果表明,锌组分处于4.2%~4.8%之间、形貌像衍射强度高且均匀性好是长波碲镉汞薄膜外延用衬底的理想选择。

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