8×16四位相光栅分光器优化设计

关键词：多位相光栅分光器 模拟退火优化算法 光互连 

摘要：设计了二维多位相光栅分光器的位相结构,并根据周期性位相结构推导出位相光栅的二维分光公式,使用模拟退火优化算法对二维8×16四位相光栅分光器的位相结构进行了优化设计,得到了二维分光效率为70.03%、不均匀度仅为4.6×10-4的位相光栅。将优化计算得到的位相分布结果进行拆分,制作了光刻版,利用光刻版套刻制作了四位相光栅分光器样品,并搭建光路对样品的分光性能进行了测试,结果表明,多位相结构能显著提高光栅的分束效率和均匀性。

半导体光电杂志要求:

{1}文稿要求论述充分有力，研究方法严谨创新。

{2}来稿敬请附上作者简介、真实姓名、电话、详细通讯地址、电子信箱等个人资料。

{3}本刊作者文图责任自负。对于作者侵犯他人版权或其他权利的文字、图片稿件，本刊概不承担任何连带责任。

{4}基金项目和作者简介按下列格式：基金项目：项目名称（编号）；作者简介：姓名（出生年），性别，籍贯，单位，学位，研究方向。

{5}摘要中不出现图、表、化学结构式和非公知用的符号和术语，也不宜引用文中图、表、公式和参考文献的序号。关键词一般选用3～5个叙词，中英文相一致。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社